PureChip Thea SP系统是行业认可的无图形晶圆颗粒度检测系统，适用于射频、汽车电子、SiC、GaN、LED等新兴技术。 Thea SP系统可用于Si、SiC、GaAs、蓝宝石、玻璃等多种晶圆的缺陷检测，采用了先进的激光技术和算法，能够捕获小至40 nm的缺陷。在整个半导体产业链中，为基板、衬底、IC、设备和材料制造商提供所需的工艺和设备的认证与监测。
PureChip Thea SP表面缺陷检测系统旨在实时捕获裸晶圆、薄膜和堆叠、光刻胶和光刻堆叠上的颗粒、划痕等关键缺陷并分类。Thea SP系统使用多种激光器和多通道探测系统，能够准确快速地检测晶圆表面缺陷和表面质量问题，从而能够更高效地识别工艺和设备问题，提高良率。SP的高灵敏度模式能够提供小至40 nm的灵敏度，高通量模式可用于大批量生产过程。SP系统能够同时满足工艺研发，以及完整制造环境中关键设备的监测需求。
